En kvartsbåt (även känd som kvartswafer-bärare) används i waferetsningsprocessen. Till exempel hålls wafers upp av kvartsbåt och förs till en annan kammare eller ugn för vidare bearbetning. Detta rekommenderas för sådan applikation eftersom det vanligtvis görs i en miljö med hög temperatur.
Här är lite fakta om kvartsbåtar
- Kvartswaferbärare kan komma i en mängd olika former och storlekar men är huvudsakligen utformade för att tillgodose wafers eller substrat med 4″, 6″, 8″ och 12″ diametrar.
- Varför används kvartsmaterial? Eftersom det är populärt för sin hållbarhet och icke-reaktivitet mot en mängd olika kemier.
- Den kan användas för processapplikationer med låg, medel och hög temperatur i både atmosfäriska och horisontella LPCVD-ugnar.
- Det hålls vanligtvis bredvid ugnen som kan användas för att hålla ett substrat vertikalt.
- Wafer eller substrat på kvartsbåten måste placeras på ett sådant sätt att det inte kommer i kontakt med termoelementet.
- Kvartsdesignen kan hjälpa till att minska partiklar på grund av kvartsflis som är vanliga för konventionella och skalformade kvartsbåtar som kommer i kontakt med paddelvingarna.
- Eliminering av kontakt mellan rälsstödsbanden och paddelvingarna minskar avsevärt båtens skevhet som beror på långa processcykler vid höga temperaturer.
Vad gör en kvartsbåt av god kvalitet?
Enligt experter, en bra kvalitativ kvartsbåt erbjuder ett antal fördelar och några av dessa är följande:
- ger inga rån som klämmer, flisar, mikrosprickor, repor, deformeras eller går sönder
- ger inget skrammel på rån under båtens rörelse
- ger en förbättrad processlikformighet
- ger inga kristallglidlinjer; och inga problem med separation av bundna skivor
- kan minska partikelbildningen
- har en längre livslängd – 5 eller fler gånger längre än konventionella båtar.
Hur väljer man en bra tillverkare?
Eftersom det finns många tillverkare där ute som ger samma löften, är det absolut nödvändigt att du vet hur du väljer det bästa bland resten. Detta kan effektivt göras genom att fastställa en uppsättning kriterier baserat på dina unika behov. Men dina potentiella tillverkare måste uppfylla följande områden:
- Certifiering från International Organization for Standardization
- Har en licens att driva – godkännande från statlig regleringsmyndighet
- Ackreditering från välrenommerade byråer som Better Business Bureau
- Tiden i branschen
- Antalet kunder (och deras positiva recensioner)
- Avgifterna (och om de erbjuder rabatter)
Comments